Gerätebeschreibung:
· Einführung in die Ausrüstung:
Die Magnetron-Sputterbeschichtungsmaschine ist eine physikalische Dampfabscheidungstechnologie, die Magnetfeld und Ionenwechselwirkung zur Herstellung dünner Filme nutzt. Die Magnetron-Sputter-Beschichtungsmaschine nutzt die bewährte Kerntechnologie des Unternehmens: Ionenstrahlreinigung + Magnetron-Sputterquelle. In der Vakuumkammer erreicht die Umgebung durch Vakuumieren einen Hochvakuumzustand. Anschließend wird mittels Glimmentladung oder Hochfrequenzstrahlung die Targetoberfläche aktiviert, um die Arbeitsgasatome oder -moleküle zu ionisieren und ein Plasma zu bilden. Durch Anlegen eines Magnetfelds werden die Ionen dann durch das Magnetfeld gesteuert, wodurch die Wahrscheinlichkeit erhöht wird, die Oberfläche des Ziels zu treffen. Der Ionenstrahl kollidiert mit der Oberfläche des Targets, wodurch die Atome oder Moleküle auf dem Target zerstäuben und sich mit höherer Geschwindigkeit auf der Substratoberfläche ablagern, um einen Film zu bilden. Die Energie des Ionenstrahls kann angepasst werden, und die Struktur und Eigenschaften des Films können durch Steuerung der Energie und Dichte des Ionenstrahls verändert werden. Die Magnetron-Sputterbeschichtungsmaschine verfügt über eine vollautomatische Steuerung, modulare Integrationsoptimierung, hohe Leistung, gute Stabilität, einfache Bedienung und einfache Wartung. Die Magnetron-Sputtermaschine eignet sich für die Beschichtungsentwicklung und Batch-Beschichtungsdienste.
· Ausstattungsvorteile:
Express Schnelle Abscheidungsgeschwindigkeit;
express Niedriger Temperaturanstieg des Substrats;
ausdrücken Der Schaden an der Membranschicht ist gering;
Express Gute Membranverklebung;
Express Hohe Filmreinheit, gute Dichte, gute Filmgleichmäßigkeit;
express Gute Wiederholbarkeit;
Express Geeignet für eine Vielzahl von Materialien;
Express Einfach zu realisierende Industrialisierung;
express Die Zusammensetzung der Filmschicht kommt der des Zielmaterials nahe.
Express Die Filmbeschichtung ist gut;
express Negative Vorspannung wird auf das Werkstück angewendet;
Express-Composite-Target-Technik.
Anwendungsbereich:
Express-Mikroelektronik: Die Magnetron-Sputter-Beschichtungstechnologie wird im Bereich der Mikroelektronik zur Herstellung von Metalldrähten, Metallkühlkörpern, lithografischen Masken und anderen Schlüsselkomponenten eingesetzt.
Express Optischer Bereich: Im Bereich der Optik wird die Magnetron-Sputter-Beschichtungstechnologie zur Herstellung optischer Komponenten wie Linsen, Filter, Spiegel usw. eingesetzt.
Express-Chemiebereich: Die Magnetron-Sputtering-Beschichtungstechnologie wird zur Herstellung von Katalysatoren, Sensoren und anderen chemischen Komponenten eingesetzt.
Express-Bearbeitungsbereich: Im Bereich der Bearbeitung wird die Technologie zur Verbesserung der Oberflächenhärte, Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit mechanischer Teile eingesetzt.
Express-Dekorationsbereich: Die Magnetron-Sputtering-Beschichtungstechnologie wird zur Herstellung einer Vielzahl schöner und langlebiger Dekorationsfolien eingesetzt.
Express Flexible Elektronik: Die Magnetron-Sputter-Beschichtungstechnologie spielt eine wichtige Rolle bei flexiblen Displays, E-Books, flexiblen Solarzellen und anderen neuen Produkten.
Express Energie- und Umweltschutz: Die Magnetron-Sputtering-Beschichtungstechnologie wird zur Herstellung von Solarheizfolien, Dünnschichtsolarzellen usw. verwendet.
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