Gerätebeschreibung:
· Einführung in die Ausrüstung:
Die Formbeschichtungsmaschine nutzt die einzigartige Kerntechnologie einer reinen Ionenbeschichtungsquelle. Die Kammerstruktur der Anlage besteht aus einer Lade-/Entladekammer und einer Prozesskammer. Das effiziente elektromagnetische Scansystem und Filtersystem kann große Partikel geladener Ionen effektiv herausfiltern und dichte und gleichmäßige Nanofilme herstellen, die einzigartige Vorteile in Bezug auf Härte, Reibungskoeffizient, Schlagfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit bieten. Die Formbeschichtungsmaschine eignet sich für die Formgebung optischer Linsen und die Präzisionsbeschichtung von High-End-Produkten.
· Ausstattungsvorteile:
Express Das Doppelkammerdesign gewährleistet die Stabilität der Prozesskammer, verkürzt die Bearbeitungszeit vor der Beschichtung erheblich und verbessert die Arbeitseffizienz.
Die Express-Formbeschichtungsmaschine verwendet einen reinen Ionen-Beschichtungsprozess bei niedriger{0}}Temperatur. Der Beschichtungsprozess wird auf 80 °C gesteuert. Unterhalb von C können thermische Spannungen und Substratverformungen vermieden werden;
Die Express-Formbeschichtungsmaschine verwendet einen effizienteren Plasmafilter, kann Partikel und Verunreinigungen effektiver filtern, ein innovatives Wasserkühlungsdesign und eine effizientere Wärmeableitung.
Express Die neu entwickelte Lichtbogenquelle, die Anwendung der neuesten technologischen Durchbrüche, verbessert die langfristige Zuverlässigkeit der Lichtbogenquelle erheblich und verkürzt die Wartungszeit auf 20 Minuten.
》The diamond phase (SP3 bond) in the prepared film layer can reach more than 75%, its physical and chemical properties are very similar to diamond, the film has a very high hardness >5000HV (>50GPa), sehr niedriger Reibungskoeffizient (<0.1), optical transparency and a series of excellent features, can greatly improve the service life of coating products;
express Das selbst entwickelte automatische intelligente Prozessbetriebssystem bietet umfassende und praktische Bearbeitungs- und Aufruffunktionen für Prozessformeln und ist mit einem Echtzeit-Prozessparameterüberwachungssystem ausgestattet, das eine Online-Fernsteuerung ermöglicht.
Anwendungsbereich:
Express-Präzisionsoptikindustrie (Formen, Präzisionsmaschinenteile usw.);
Express Universitäten und Forschungsinstitute usw.
Beschichtungsart:
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Beschichtungsart |
Abscheidungstemperaturbereich |
Mikrohärte (HV) |
Bindungskraft der Beschichtung (N) |
Maximale Betriebstemperatur (Grad) |
Typische Dicke (nm) |
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Partikel-freies ta-C |
<80℃ |
2000-5000 |
>5N (100nm hoch Schnellstahloberfläche) |
600 Grad (unter N2Schutz) |
50-150 |
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