Produktübersicht
Das industrielle kathodische Lichtbogenverdampfungssystem ist eine produktionstaugliche PVD-Plattform (Physical Vapour Deposition), die für die Abscheidung verschleißfester, korrosionsbeständiger und reibungsarmer Hartbeschichtungen entwickelt wurde. Durch den Einsatz von Lichtbögen mit niedriger-Spannung und hohem-Strom werden feste Kathodentargets sofort am Kathodenpunkt verdampft und ionisiert, wodurch ein hochionisiertes Metallplasma entsteht.
Dieses System wurde gemäß ISO 9001-Qualitätsmanagementstandards und CE-Konformitätsrichtlinien entwickelt und hergestellt und ist für Beschichtungsvorgänge mit hohem-Durchsatz in der Werkzeugherstellung, Automobilkomponenten und Industriehardware konfiguriert. Standardkonfigurationen integrieren Multi-Kathoden-Layouts mit unabhängiger Magnetfeldsteuerung, programmierbaren Gleichstrom-/gepulsten Vorspannungsversorgungen und automatischer Vakuumsteuerung, um eine konsistente Filmstöchiometrie und dichte Mikrostrukturen aufrechtzuerhalten.
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Dünnschichtsystem mit LichtbogenverdampfungDas industrielle Dünnschichtsystem mit kathodischer Lichtbogenverdampfung ist für die schnelle Abscheidung von dichten, stark haftenden Beschichtungen aus Metall-, Legierungs- und...mehr sehen -
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PVD-Ausrüstung zur LichtbogenverdampfungDas industrielle PVD-System mit kathodischer Lichtbogenverdampfung nutzt elektrische Lichtbögen mit niedriger -Spannung und hohem-Strom, um feste Kathodentargets in einer Vakuumumgebung zu...mehr sehen -
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Vakuum-Lichtbogen-DünnschichtsystemDas industrielle Vakuum-Lichtbogen-Dünnschichtsystem nutzt die kathodische Lichtbogenverdampfung, um dichte, gut haftende dünne Schichten aus Metall, Legierung und Keramik abzuscheiden. Ein...mehr sehen -
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Kathodische Lichtbogen-DünnschichtausrüstungSystem zur physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD), das lokale elektrische Lichtbögen mit niedriger -Spannung und hohem-Strom nutzt, um feste Kathodentargets in vollständig ionisiertes Plasma zu...mehr sehen -
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Ausrüstung zur LichtbogenverdampfungIndustrielle Plattform für physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), die für die Hochgeschwindigkeitssynthese von dichten, verschleißfesten und funktionellen Hartbeschichtungen entwickelt wurde....mehr sehen -
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Dünnschichtausrüstung zur LichtbogenverdampfungDieses kathodische Lichtbogenverdampfungssystem verdampft feste Kathodentargets über einen elektrischen Lichtbogen mit niedriger -Spannung und hohem-Strom, um ein vollständig ionisiertes...mehr sehen
Technische Spezifikationen
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Parameter |
Spezifikationsbereich / Standardkonfiguration |
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Kammerabmessungen |
Durchmesser: 800 mm - 1800 mm (Anpassbare vertikale/horizontale Anordnungen) |
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Kammermaterial |
Doppel-wandiger Edelstahl SUS304 mit internen Wasser-Kühlkanälen |
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Ultimativer Vakuumdruck |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
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Kathodenkonfiguration |
4 bis 12 Rechteck-/Kreisbogenquellen mit elektromagnetischer Steuerung |
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Arc-Stromversorgung |
300A - 500Ein einstellbarer Konstantstrom, Welligkeit<= 2% |
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Substratvorspannungsleistung |
0 bis -1000 V einstellbar, gepulste Vorspannungsfrequenz 10 kHz - 100 kHz |
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Heizsystem |
Strahlungsheizungsarray, maximale Temperatur 600 Grad +/- 5 Grad Gleichmäßigkeit |
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Werkstückrotation |
Planeten- oder Doppelachsenrotation, angetrieben durch Magnetflüssigkeitsdurchführung |
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Kontrollsystem |
SPS + Industrie-PC, rezeptgesteuerte automatisierte Ablaufsteuerung |
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Versorgungsanforderungen |
Kühlwasser: 0,25–0,35 MPa, 20–25 Grad; Leistung: 380 V/480 V, 3 Phasen, 50/60 Hz |
Lichtbogenverdampfungsprozess
Der Abscheidungszyklus unterliegt einer strengen Verfahrenskontrolle, um die Filmintegrität und Grenzflächenhaftung zu gewährleisten:
Evakuierung und Ausgasung:
Die Vakuumkammer wird auf den Basisdruck abgepumpt. Die Substrate werden unter Vakuum erhitzt, um flüchtige Oberflächenbestandteile und Restfeuchtigkeit zu entfernen.
01
Plasmaätzen (Reinigung):
Der Metallionenbeschuss (unter Verwendung von Titan- oder Chrom-Targetquellen) reinigt die Substratoberfläche auf atomarer Ebene, entfernt native Oxide und aktiviert die Grenzfläche.
02
Reaktive Abscheidung:
Reaktive Gase (N2, CH4, O2) werden über Massendurchflussregler (MFCs) in die Kammer injiziert, um mit dem Metallplasmafluss (z. B. Ti, Cr, AlTi) zu reagieren und Verbundfilme wie TiN, TiAlN oder CrN zu bilden.
03
Kühlung und Entlüftung:
Die Abkühlung nach-der Abscheidung erfolgt unter einer schützenden Inertgasatmosphäre vor der Kammerentlüftung und der Teileentnahme.
04
Unterstützte Kathodentargets
Titan (Ti) und Titanaluminium (TiAl):Grundmaterialien für Standard-TiN- und hoch-oxidations-beständige TiAlN-Beschichtungen (beständig gegen Oxidation bis zu 900 Grad).
Chrom (Cr):Wird für dekorative Oberflächen und korrosionsbeständige CrN/CrC-Schichten verwendet.
Zirkonium (Zr) und Titansilizium (TiSi):Wird für spezielle dekorative und extrem verschleißfeste Nanokompositfolien verwendet.
Kompatible Substratmaterialien
Hochgeschwindigkeitsstahl (HSS):Spiralbohrer, Schaftfräser, Wälzfräser und Räumnadeln.
Hartmetalle (WC-Co):Wendeschneidplatten, Reibahlen und Formmatrizen.
Technische Stähle und Legierungen:Automobilventilkomponenten, Zahnräder, Sanitärbeschläge aus Edelstahl und medizinische Implantate aus Titan.
Auswirkungen auf Anwendungen und Leistung
Metallschneidwerkzeuge:
Ablagerung von TiAlN- und AlCrN-Beschichtungen auf Hartmetalleinsätzen und Schaftfräsern, wodurch die Werkzeuglebensdauer um 200 % bis 300 % verlängert wird und eine trockene Hochgeschwindigkeitsbearbeitung ermöglicht wird.
Form- und Stanzwerkzeuge:
Auftragen dichter, reibungsarmer Beschichtungen zur Reduzierung von Klebstoffverschleiß, Abrieb und Festkleben des Werkstücks beim Tiefziehen, wodurch Ausfallzeiten um bis zu 40 % reduziert werden.
Automobil-Antriebsstrang:
Behandlung von Kolbenringen, Kraftstoffeinspritzstiften und Stößeln, um den Grenzreibungskoeffizienten auf < 0,15 zu minimieren und Fressverschleiß zu verhindern.
Industrielle Hardware und Sanitärarmaturen:
Harte dekorative PVD-Schichten (TiN-Gold, Roségold, schwarzes Zirkonium), die einen mindestens 500-stündigen neutralen Salzsprühtest (ASTM B117) bestehen.
Anpassung und Prozesskonfiguration
Anlagenlayouts skalieren je nach Produktionsvolumen, Teilegeometrie und Fabrikfläche:
Kammergeometrie:
Vertikale Ladekonstruktionen für schwere Werkzeuge; horizontale Stapelkonfigurationen für das Laden von Vorrichtungen mit hoher -Kapazität.
Quellenintegration:
Hybridkonfigurationen, die kathodische Lichtbogenquellen mit unsymmetrischen Magnetron-Sputter-Kathoden (RMS) kombinieren, um glatte, tröpfchenfreie Mehrschichtarchitekturen abzuscheiden.
Filtersysteme:
Optionale magnetische Makropartikelfilter (gesteuerte Lichtbogenfilter), die auf Kathodenkanälen installiert sind, um Makrotröpfchen für optische oder ultra{1}glatte Präzisionsfunktionsbeschichtungen zu eliminieren.
Automatisierungsschnittstelle:
Integration-bereit für Roboterladearme und fahrerlose Transportfahrzeuge (FTS) zur Chargenbereitstellung.
Strukturelle Integrität:Kammerkörper werden einem Helium-Massenspektrometer-Dichtheitstest mit einer Empfindlichkeitsschwelle von unterzogen<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Elektrische Sicherheit und Konformität:Streng nach CE- und IEC-Richtlinien zur elektrischen Sicherheit gebaut, mit vollständigen Isolationstests und Not-Sicherheitsverriegelungen.
Funktioneller Run-off (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell-Eindruck HF1-HF2) werden vor dem Versand anhand von Standard-Testcoupons überprüft.
Installation und technischer Support
Paket zur Standortvorbereitung:
Umfassende Versorgungspläne mit detaillierten Angaben zu Kühlwasserdurchflussraten, Absaugung, Bodenbelastbarkeit und Stromabwurfspezifikationen wurden 4 Wochen nach Vertragsabschluss bereitgestellt.
Vor-Inbetriebnahme vor Ort:
Werkszertifizierte Prozessingenieure kümmern sich beim Kunden um die mechanische Ausrichtung, die Erkennung von Vakuumlecks, die elektrische Integration und die anfängliche Grundrezepteinrichtung.
Prozessrezeptübertragung:
Die Lieferung umfasst Standard-Grundrezepte (TiN, TiAlN, CrN) und Betriebsschulungen für interne Wartungs- und Ingenieurteams.
Ferndiagnoseunterstützung:
Systeme, die mit sicheren Industrie-Router-Gateways für die Ferndiagnose von Parameterfehlern und SPS-Logik ausgestattet sind.
FAQ
Wir sind -als einer der führenden Hersteller und Lieferanten von Dünnschichtanlagen für die Lichtbogenverdampfung in China bekannt. Wenn Sie maßgeschneiderte, in China hergestellte Lichtbogenverdampfungs-Dünnschichtgeräte kaufen möchten, fordern Sie gerne eine Preisliste von unserem Werk an. Für eine Preisberatung kontaktieren Sie uns.
