Die Vakuumverdampfungs-Verbundbeschichtungsanlage integriert Elektronenstrahlverdampfung und ionenunterstützte Abscheidungstechnologien (IAD), unterstützt die Mehrprozess-Verbundbeschichtung und eignet sich für die hochpräzise Herstellung optischer Filme. Die Ausrüstung ist mit einer Niedertemperaturfalle und einem Doppelelektronenkanonensystem mit einem Grenzvakuum von ausgestattet<5.0×10⁻⁶ Pa, and the uniformity of the film layer is controlled within ±1%. The vacuum evaporation composite coating equipment can simultaneously be compatible with AR film, AF film and metal decorative film, meeting the multi-functional coating requirements of complex optical devices.
Technische Vorteile:
· Die Vakuumverdampfungs-Verbundbeschichtungsanlage verfügt über ein vollautomatisches Filmdickenkontrollsystem, das sowohl die Lichtsteuerungs- als auch die Kristallsteuerungsmodi unterstützt.
· The composite process reduces the stress of the film layer and enhances the adhesion of the hard coating (>5N);
· Der modulare Aufbau ermöglicht einen schnellen Quellenaustausch und erfüllt die Anforderungen sowohl der Forschung als auch der Massenproduktion.
Anwendungsgebiete: Lasergeräte, optische Sensoren, Halbleiterverpackungen usw.
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