Trockenätzausrüstung

Trockenätzausrüstungist eine leistungsstarke-Lösung für die präzise Materialbearbeitung in verschiedenen Branchen. Fortgeschrittene nutzenReaktives Ionenätzen (RIE)Technologie ermöglicht dieses Gerät ein berührungsloses, rückstandsfreies Ätzen ohne flüssige Chemikalien und ist somit ideal für Anwendungen, die Genauigkeit im Mikrometerbereich-und Umweltkonformität erfordern.

Fähigkeit zum anisotropen Ätzen

• Das System kombiniert chemische Reaktionen (plasmaaktivierte Spezies) mit gerichtetem Ionenbeschuss und ermöglicht so präzise vertikale Ätzprofile. Dies ist entscheidend für die Erzeugung von Mikrostrukturen auf Metallen (z. B. Edelstahl, Titanlegierungen), Keramik (Al₂O₃, SiC) und Polymeren (PEEK, PTFE).
• Ätzeinheitlichkeitwird auf Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 800 mm innerhalb von ±5 % gehalten, selbst bei komplexen Geometrien.

Modularer Aufbau und Skalierbarkeit

• Mehrere Ionenquellenkonfigurationen: Das Gerät unterstützt lineare, kreisförmige oder hochfrequenzgekoppelte Ionenquellen und ermöglicht so die gleichzeitige Bearbeitung mehrerer Werkstücke.
• Einstellbare Prozessparameter: Ionenenergie (50–500 eV) und Plasmadichte (10¹⁰–10¹² cm⁻³) können optimiert werden, um Ätzrate (bis zu 30 nm/min) und Oberflächenglätte (Ra < 0,1 μm) in Einklang zu bringen.

Umweltfreundlicher-Betrieb

• Kein flüssiger Abfall: Im Gegensatz zum Nassätzen entfällt beim Trockenverfahren die Entsorgung gefährlicher Chemikalien.
• Energieeffizientes-Design: Der Stromverbrauch von 10 kW ist 30 % niedriger als bei herkömmlichen Systemen, wobei die Wärmeableitung über ein geschlossenes Reinwasserkühlsystem (größer oder gleich 4 m³/h Durchflussmenge) gesteuert wird.

Verbesserte Prozesskontrolle

• Echtzeitüberwachung: Das integrierte PC-basierte Steuersystem überwacht Vakuumniveaus (Basisdruck kleiner oder gleich 5,0×10⁻⁴ Pa), Gasdurchflussraten und Ionenstrahlstabilität.
• Automatisierte Sicherheitsprotokolle: Überlastschutz, Lichtbogenunterdrückung und Notabschaltmechanismen sorgen für Betriebssicherheit.

Leistung vor- und nach-Ätzung

• Vor-Ätzung: Oberflächen können Oxidationsschichten, organische Rückstände oder ungleichmäßige Texturen aufweisen, die die Haftung der Beschichtung oder die Funktionsleistung beeinträchtigen.
• Beitrag-Radierung: Es wird eine saubere, fehlerfreie Oberfläche mit kontrollierter Rauheit erreicht, die nachfolgende Prozesse wie PVD-Beschichtung, Verklebung oder Druck verbessert.

• Optik: Ätzen von antireflektierenden Mikrostrukturen auf Linsen und Anzeigetafeln.
• Präzisionswerkzeuge: Oberflächentexturierung von Werkzeugen und Formen zur Verbesserung der Verschleißfestigkeit.
• Neue Energiekomponenten: Strukturierende Elektroden für Batterie- und Brennstoffzellensysteme.