Gerätebeschreibung:
· Einführung in die Ausrüstung:
Die Magnetron-Sputter-Dünnschichtausrüstung nutzt die ausgereifte Kerntechnologie des Unternehmens: Hochenergie-Ionenstrahlreinigung + Magnetron-Sputterquelle (Magnetron-Sputtern). Die Ausrüstung verfügt über eine vollautomatische Steuerung, modulare integrierte Optimierung, hohe Geräteleistung, stabile Leistung, einfache Bedienung und einfache Wartung. Um unterschiedliche Beschichtungsanforderungen zu erfüllen, kann die Kammer mit einer Vielzahl von Targets wie planaren kreisförmigen Targets, Streifentargets und zylindrischen Targets entworfen und konfiguriert werden und kann mehrschichtige Verbundfilme mit hoher Dichte und guter gleichmäßiger Leistung erhalten, darunter verschiedene Metalle, elektronische Komponenten, ferromagnetische Materialien sowie isolierende Oxide und Keramikfilme. Magnetron-Sputter-Dünnschichtgeräte eignen sich für die Beschichtungsentwicklung und Batch-Beschichtungsdienste.
·Ausstattungsvorteile:
Die Express-Magnetron-Sputter-Dünnschichtausrüstung verfügt über eine einzigartige Kerntechnologie, ein speziell entwickeltes Magnetfeld und einen Prozessgaspfad, wodurch die Zielausnutzungsrate und die langfristige Prozessstabilität effektiv verbessert werden.
Express Modulare Universalschnittstelle, direkt kompatibel mit verschiedenen Formen von Kathodentargets, ermöglicht DC-Puls-, IF- und RF-Arbeitsmodus; Starke Kompatibilität;
express Das selbst entwickelte automatische intelligente Prozessbetriebssystem bietet umfassende und bequeme Bearbeitungs- und Aufruffunktionen für Prozessformeln und ist mit einem Echtzeit-Prozessparameterüberwachungssystem ausgestattet, das eine Online-Fernsteuerung ermöglicht.
Anwendungsbereich:
Express-Magnetron-Sputter-Dünnschichtgeräte können Cu, Au, Cr, Ni, Ta, TiN, TiC, TiCN, TiAlN, CrN und andere Metall-, Nichtmetall- und Keramikoxide aller Arten von Filmen und Verbundfilmen plattieren;
Express Kann in den Bereichen Flüssigkristallanzeige, Strapazierfähigkeit, Solarzellen, Materialschutz und Korrosionsschutz, Bauglas, optische und dekorative Filmschicht, magnetooptische Informationsspeicherung, ferromagnetische Materialien und andere Bereiche verwendet werden.
Beschichtungsart:
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Beschichtungsart |
Filmdicke (μm) |
Erreichbare Leistung |
Hauptanwendung |
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Ti/Ni/Cr/Cu/Ag usw |
0.5-10 |
Verbessern Sie die Schweißbarkeit, verbessern Sie die Fähigkeit zur elektromagnetischen Abschirmung, ändern Sie die Farbe des Erscheinungsbilds usw |
5G-Kommunikation Forschungsinstitut. |
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